展示由專業(yè)計(jì)量廠商 Mahr 開發(fā)的全新、高度創(chuàng)新的產(chǎn)品系列：三款功能強(qiáng)大的白光干涉儀現(xiàn)在擴(kuò)充了光學(xué)設(shè)備產(chǎn)品組合。它們可以對尺寸在幾納米到幾微米范圍的結(jié)構(gòu)進(jìn)行 3D 測量。
無論是在醫(yī)療技術(shù)、光學(xué)還是半導(dǎo)體行業(yè)，許多領(lǐng)域都依賴極其光滑的表面來確保鏡頭、晶圓或植入物具有最佳的性能。為此，它們經(jīng)過精心制造，并在制造商的實(shí)驗(yàn)室和質(zhì)量保證部門接受了細(xì)致的測試。由于這些表面的粗糙度取決于亞納米級，因此白光干涉法是首選測量方法。
Mahr 新推出的三款白光干涉儀配備了 ICA 技術(shù)（“智能相關(guān)算法”）。ICA 可實(shí)現(xiàn)很好的高度值統(tǒng)計(jì)測定、數(shù)據(jù)質(zhì)量和僅為 80 皮米的最小噪聲系數(shù)。它在短短幾秒鐘內(nèi)就能提供測量數(shù)據(jù)。對用戶而言，這意味著垂直分辨率非常高的高精度表面特征輪廓數(shù)據(jù)和表面結(jié)構(gòu)。
Mahr 的新款白光干涉儀系列包括三個裝置：
- 手動 MarSurf WI 50 M - 面向高要求測量任務(wù)的全面入門級解決方案
- MarSurf WI 50 - 用于研究和質(zhì)量管理的高精度測量工具
- 可自動化 MarSurf WI 100 - 具有適用于特大工件的擴(kuò)展 Z 軸的專業(yè)裝置
除了準(zhǔn)確性之外，這三個裝置被贊賞的一點(diǎn)是，定位容量很大，適合大型工件，并且采用了已在其他光學(xué)系統(tǒng)上被 Mahr 客戶熟悉和欣賞的直觀用戶軟件。這使得實(shí)驗(yàn)室和質(zhì)量保證部門能夠在短短幾秒鐘內(nèi)確定納米范圍內(nèi)的粗糙度、平均梯度或水平。
Copyright ? 2020 上海永慈機(jī)電科技有限公司- All Rights Reserved. 滬ICP備2021016739號-1 上海 浦西